Nội dung sách gồm:
Chương 1: Giới thiệu về bộ vi chấp hành MEMS
Chương 2: Thiết kế bộ vi chấp hành kiểu tĩnh điện răng lược
Chương 3: Thiết kế bộ vi chấp hành kiểu điện nhiệt chữ V
Chương 4: Công nghệ chế tạo các bộ vi chấp hành
Chương 5: Mô hình hóa và điều khiển bộ vi chấp hành
Giá sản phẩm trên Tiki đã bao gồm thuế theo luật hiện hành. Bên cạnh đó, tuỳ vào loại sản phẩm, hình thức và địa chỉ giao hàng mà có thể phát sinh thêm chi phí khác như phí vận chuyển, phụ phí hàng cồng kềnh, thuế nhập khẩu (đối với đơn hàng giao từ nước ngoài có giá trị trên 1 triệu đồng).....